1、三遠點法：是以通過實際被測表面上相距最遠的三點所組成的平面作為評定基準面，以平行于此基準面，且具有最小距離的兩包容平面間的距離作為平面度誤差值。
2、對角線法：是以通過實際被測表面上的一條對角線，且平行于另一條對角線所作的評定基準面，以平行于此基準面且具有最小距離的兩包容平面間的距離作為平面度誤差值。
3、最小二乘法：是以實際被測表面的最小二乘平面作為評定基準面，以平行于最小二乘平面，且具有最小距離的兩包容平面間的距離作為平面度誤差值。最小二乘平面是使實際被測表面上各點與該平面的距離的平方和為最小的平面。此法計算較為復雜，一般均需計算機處理。
4、最小區域法：是以包容實際被測表面的最小包容區域的寬度作為平面度誤差值，是符合平面度誤差定義的評定方法。